真空镀膜机真空泵如何维修，如果采取了局部拆修措施而未能排除故障的一些真空泵，但其真空度仍低、仍有渗漏等现象;或者有些泵有下述现象之一者:如泵发生卡死现象，油很脏而且泵内已结了垢，生了锈或用了不适当的油使机械泵内部零部件上结了硬壳，旋片有较大的撞击声，泵腔内落入异物(金属屑、玻璃屑、铜屑等)划伤泵腔，摩擦发热温升很厉害(超过70℃)等，都需要将真空泵拆开进行大的清洗。

　　拆卸真空镀膜机真空泵的步骤及注意事项如下:

　　①切断电源，拔下电源插头。该泵如在系统上，应当从设备上取下。

　　②拧开放油螺栓放油，用手盘动皮带轮，使泵腔内余油全部放出。油应收集好，一般是在机械泵底板下放一铁制油盘或磁盘等(通称方盘)收集，以便于今后蒸馏回收和免于污染环境。

　　③拆下皮带，卸下皮带轮、键，脱开底板，视电机好坏程度(如发热、过脏、有干磨的噪音，振动较大等)应予修理或送电工洗油修理。

　　④先拆低真空端盖板(后端盖板，即远离泵轮的一端)，拆卸时根据不同螺钉使用不同的工具。对于一般六角螺钉可用呆扳手，内六角螺钉要用内六角扳手，必要时要使用套筒扳手，这样不会损坏螺钉。

　　拧开端盖板螺钉后，轻启端盖板。端盖板如密合得很紧，则应慢慢设法起开。例如，可用锉刀在泵腔与端盖板合缝处锉一小槽，然后用起子(改锥)插于小槽处用手敲起子把手，亦可用小锤轻敲起子以退出端盖板，切不可重锤敲打。

　　⑤用橡皮垫圈密封的则取下橡皮垫圈，退出定位销。

　　⑥取出转子及旋片。通常在低转子端而设有两个攻了丝的孑匕用丝杆拧入此孑匕便很容易地拉出低转子了。

　　但要注意拉出转子时一定要用手捏紧旋片，因旋片受弹簧力较大，一不小自容易脱手飞出，掉于地上或碰到硬物，碰坏旋片棱角及表面造成无端报赓

　　⑦依④、⑤、⑥相仿的方法拆卸高真空端，拿出高转子和旋片。此时，只需用手捏紧旋片和轴即可取出转子。

　　⑧动手拆泵以前，应事先了解清楚待拆修泵的结构特点、各零部件大致属哪种结构型式。

　　例如，对那些本身属于组合件的部件，如某些旋片泵的转子等，则不要拆卸，可对其表面作适当的修正调整;如果组合转子内落入玻璃屑、金属异物伤了腔体或本身旋片槽已磨损过多，需修换配件时，则可拆卸，但要小心记住其装配方法。

　　⑨每拆下一个部件，都要检查其精度和光洁度以及损坏情况。旋片及转子两头的棱角要特别注意检查其有否损坏，并作好记录。

　　对于业务尚不太熟悉的修泵者，则更应逐步记住各部件、零件的原装配位置，作好记录，以防重装时记不清搞错。

　　同时，拆下的零部件不可乱放，堆彻，碰伤，丢失。

　　将其放于一个方磁盘里，也可放于木盒中并清洗干净，以绸布盖好(实在无绸布时，起码要以光洁白纸盖好。

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