(1)高温时断水、断电。真空镀膜设备最怕的就是高温时断水、断电。因此用户在设备安装时建有备用水箱或连有自来水管。

　　设备在高温时断水、断电，此时，泵、阀门均应处于关闭状态，操作人员应马上接通备用水或自来水，对设备进行水冷，如不能很快来电，还应打开充放气系统的手动充气阀，对设备进行充气保护，充气压力为-0.02MPa左右。

　　然后，把控制柜上的所有按钮关至“关”的位置。同时用湿毛巾搭在电极引出接口处，定期更换，以免电极接口过热，造成密封圈损坏。

　　(2)更换充气气瓶。设备所用充气气瓶需更换时，拆掉稳压阀，换上一瓶新气，一定要注意安装时不许漏气。

　　在换上新气瓶后，在工件没加热前，应在抽空过程中对炉内充气，以便在换气瓶过程中造成的管路内存有的大气抽出，使充气管路保持清洁。

　　(3)正常工作时，发现设备突然漏气，如马上能找到泄露点，须用真空封泥把泄露点封住，待工作完毕后，再做处理。

　　如不能确定泄露处，则应立即停止工作，然后检修。

　　(4)设备工作一段时间，一般50到70炉次，需清理打扫，把粉尘清出炉外，然后空炉工作一次。工作的方式是先抽空为真空度高于10-2Pa时加热，加热温度一般高于正常使用温度的20℃。

　　在炉温时保温一个小时以上，然后自然冷却。这样使设备内部空间保持清洁。

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