真空镀膜设备的真空腔要经常清洁，也就是腔体内气体应该有足够的纯度和稳定的比例，不能有灰尘、废金属屑等。

　　由于金属蒸气和气体的部分电离会使腔体附着脏污，应及时清除。

　　只有保证了真空卫生才能保证镀膜的质量。稳定的流量可以保持腔内环境的稳定，进而维持稳定温度，使膜所受的热应力均匀稳定，才能保证膜有效的附着强度。

　　真空度会对镀膜产品有着很大的影响，对镀膜过程也是一样。

　　例如物质在真空中的沸点比在大气中的低，在真空条件下可以降低物质大量蒸发所需的温度，因而在真空镀膜室内镀膜材料可以在较低的温度下大量蒸发。

　　在低真空区域中氧气相应少了，物质被氧化的可能性大大的降低，因此真空镀膜时就可以得到很好效果镀膜层!

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