本文所述的设备、仪器、系统主要用于对金属加工件的形位误差几何量测量。随着计算机、激光技术、电子学技术的发展和各种高技术多学科的相互渗透，它们由传统的机械式、气动式、电子式发展到光、机、电一体化的综合式，由加工后测量发展到在线监控测量，由接触式测量发展到非接触式测量。术向着自动化、智能化、动态、高精度发展，检测结果向着数字化与图象化发展，体积向着小型化发展，结构向着模块化、单元组合式发展，检测功能向着综合性、多参数、多维发展。

三座标测量机是大型测量设备中较典型的代表，英国、美国、瑞士等国家的产品具有较高的水平。此类的高档产品，国外占据我国80%以上的，较高和中档水平的产品，我国已经能够满足市场的需要。主要厂家有：青岛前哨布朗公司、上海量具刃具厂、西安爱德华公司、航空精密机械研究所等厂家，其中青岛前哨布朗公司的产品已有较大出口量。目前，三座标测量机的缺点是：采用接触式测量方式，影响其精度的提高和使用的广泛性。未来的发展趋势是采用非接触式的测量方式。

目前，我国光电非接触式的检测产品与发达国家相比差距较大，国外典型的厂家有：美国Zygo和Tsi公司，英国Renishaw公司，瑞士Zambach公司，德国Zeiss和Opton公司，日本安立、三菱、松下公司等。它们的精度指标已达到0.1微米，产值以每年10%的速度递增，占据主要的国际市场。国内能够生产这类产品的主要厂家有北京莱格超精光电研究所、莱格光电仪器公司、长春光机学院等厂家。其主要产品有：激光扫描多功能检测仪；通用激光测量仪；形位误差光电综合测量机；激光圆度仪等产品。/