频谱分析仪采用起始和终止频率之间的频率扫描。一个模拟斜坡信号产生该频率扫描信号，而起始频率由来自高精度的时间基准信号合成。于是，测量精度由模拟斜坡信号和 IF 滤波器的中心频率所决定。
基于 FFT 的分析仪，没有这样的模拟斜坡信号，故没有这些因素的限制，从而在整个测量范畴内具有一致的精度。范畴内的精度则取决于时基和测量算法，故可以比较容易地获得频率精度和重复性。
在传统型扫描分析仪中，频率误差的原因包括基准频率误差，频率范畴精度 ( 范畴的 5%) 和 RBW(RBW 的 15%) 。相应地，在基于 FFT 的分析仪中的频率误差则包括基准频率误差和 RBW ，具体取决于测量算法，变化范畴为 RBW 的 >50% 到 <10% 之间。
为了比较这些误差，就必须忽略基准频率误差，这是因为可以使用一个像铷时钟这类的精密频率源来对其进行补偿。在扫频式频谱分析仪中，当频率范畴大于 50kHz 以及 RBW 设置超过 1kHz 时，测量性能将受到影响，除非采用化的技术，例如将 100MHz 的频率放置到频率范畴的中心。
如果采用较小的 RBW ，意味着测试时间的拉长，这是因为扫描时间的问题，因为通常的频谱分析仪中需要 150-200ms 的扫描时间。测量算法限定了基于 FFT 的分析仪的测量精度。例如，的光谱测量分析工具包中采用了内插技术，可实现比 RBW 能够实现的更高分辨率，就像上述的例子中， RBW 设置到 2kHz 将会保证更高的精度。
