不锈钢真空泵不能在大气压下工作，所以它需要预真空。一些不锈钢真空泵出口压力低于大气压力，所以它需要一个前级泵。所以所有的泵都需要组合使用。真空设备对油污的要求。如果严格要求无油设备，应选用各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，以及一些防油污措施，如加装冷阱、挡板、集油器等。也能满足洁净真空的要求。

　　在其工作压力下，不锈钢真空泵应能排出真空设备过程中产生的所有气体，由于该产品需要选择性泵送，有时一台泵不能满足泵送要求，需要几台泵组合起来，互相补充才能满足泵送要求。比如钛升华泵对氢气有很高的抽速，但不能抽氦气，而三极溅射离子泵(或两极不对称阴极溅射离子泵)对氩气有一定的抽速。如果将两种泵组合起来，真空装置将获得更好的真空度。