等离子清洗机是如何与材料表面相互作用的？回答这个问题前，我们先了解一下等离子清洗机体具有哪些特性：不稳定性（需要持续供能）、电中性（不管是组成成分还是整体都呈现出电中性）、高活性（具有可以材料表面发生反应的活性粒子和基团）。
当我们让等离子清洗机去轰击我们需要处理的材料的表面时，具有高能量、包含带电粒子、自由基的等离子体会与材料表面发生作用，高能量会向低能量进行传递；在这个过程中，等离子体中的具有较高能量的自由基发挥着主要做作用，自由基会与材料表面的分子发生化学反应，与材料表面的分子形成新的自由基，新形成的自由基同样处于不稳定的高能量状态，很可能发生分解反应，在变成较小分子同时生成新的自由基，这种反应过程还可能继续进行下去，最后分解成水、二氧化碳之类的简单分子。在另一些情况下，自由基与物体表面分子结合的同时，会释放出大量的结合能，这种能量又成为引发新的表面反应推动力，从而引发物体表面上的物质发生化学反应而被去除。
另外除了上述的自由基会与材料表面的分子进行化学反应，等离子体中的带电粒子也会作用在材料的表面，比如等离子体中电子和带正电荷的阳离子；当等离子体冲击材料的表面时，质量小的电子要比其他粒子更快到达材料的表面，从而使材料的表面带有负电荷，这样更利于等离子体与材料的表面发生化学反应；而带正电荷的阳离子本身质量就大，在获得加速后就具有更大能量（动能），阳离子撞击在材料的表面，使得材料表面的颗粒性物质被撞开而脱离材料，达到去污的目的。
