X荧光光谱仪作为元素分析的重要工具，其性能很大程度上取决于探测器的选择。目前，主流的探测器包括流气式正比计数器、NaI闪烁计数器和Si(Li)探测器，三者因原理差异在分辨率、适用波长范围及元素检测能力上各有特点。

流气式正比计数器

流气式正比计数器适用于长波长范围（0.15～5.0 nm），通过电离氩气与甲烷的混合气体产生脉冲信号，平均每离子对能量为26.4 eV，电子数305/光子，分辨率为1.2/keV。其优势在于对轻元素（如碳、氧）灵敏度高，常用于地质和环保领域。然而，需持续通入气体以维持稳定，维护成本较高。

NaI闪烁计数器

该探测器基于X射线激发NaI晶体发光的原理，适用于短波长（0.02～0.2 nm），平均离子对能量达350 eV，但电子数仅23/光子，分辨率为3.0/keV。其优势在于对重元素（如铁、铅）检测效率高，且结构简单耐用，常用于工业金属分析。缺点是分辨率较低，易受高能射线干扰。

Si(Li)探测器

Si(Li)探测器属于半导体探测器，采用液氮冷却技术，适用波长范围0.05～0.8 nm，平均离子对能量仅3.6 eV，电子数高达2116/光子，分辨率达0.16/keV。其高分辨率和宽元素覆盖范围（从钠到铀）使其成为实验室精密分析的，但需低温环境且成本昂贵。

当前，新型硅漂移探测器（SDD）因无需液氮冷却且分辨率接近Si(Li)而逐渐普及，未来可能取代传统探测器7。实际应用中需根据检测元素范围、分辨率需求及维护成本综合选择。例如，流气式适合轻元素快速检测，NaI适用于重元素工业场景，而Si(Li)或SDD则用于高精度实验室分析。

创想X荧光光谱仪