超纯水仪采用预处理、反渗透技术、混床、EDI装置以及后级处理等方法，将水中的导电介质几乎去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水处理设备。超纯水仪又称做：超纯水器、超纯水机、超纯水系统、实验室超纯水器等。超纯水仪所生产的超纯水电阻率一般应大于10兆欧，10兆欧以上的水才叫超纯水。一般超纯水出水能达到18.25兆欧。
　　超纯水仪制备工艺：
　　1、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→粗混合床→精混合床→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→精密过滤器→用水对象（≥18MΩ.CM）(传统工艺)；
　　2、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象（≥18MΩ.CM）(新工艺)；
　　3、预处理→一级反渗透→加药机（PH调节）→中间水箱→第二级反渗透（正电荷反渗膜）→纯水箱→纯水泵→EDI装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象（≥17MΩ.CM）(新工艺)；
　　4、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象（≥15MΩ.CM）(新工艺)；
　　5、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→纯水泵→粗混合床→精混合床→紫外线杀菌器→精密过滤器→用水对象（≥15MΩ.CM）(传统工艺)。
　　以上超纯水仪制超纯水工艺各有各的优势，可以根据你自身的情况选购合适的工艺。随着科学的发展，很多新的工艺已经替代了旧的工艺，目前用反渗透法制取高纯水已经普及，也是为现今的工艺。