近几年来X荧光光谱仪是日渐兴起的一种较新型的仪器，它可以无损对多元素进行快速同时测定的仪器。X荧光光谱仪是可以分为波长和能量两种的，它们是从不同的角度来观察描述X射线所采用的两个物理量的。

波长色散型X射线荧光光谱仪，是用晶体分光而后由探测器接收经过衍射的特征X射线信号。如果分光晶体和控测器作同步运动，不断地改变衍射角，便可获得样品内各种元素所产生的特征X射线的波长及各个波长X射线的强度，可以据此进行定性和定量分析。

能谱色散型X荧光光谱仪，用X射线管产生原级X射线照射到样品上，所产生的特征X射线(荧光)直接进入半导体探测器，便可以据此进行定性分析和定量分析。

x射线荧光光谱仪xrf基础知识

后来随着X射线偏振器的诞生，产生了一款新型的能量色散X荧光光谱仪，既偏振式能量色散X荧光光谱仪，再加上SDD探测器的使用，提高了仪器的分辨率，免去Si(Li)探测器使用液氮冷却的繁琐和危险，让用户购买和使用X荧光仪器的成本大大减低，所以总的来说能量色散X荧光光谱在分析领域还是更受欢迎的。