荧光光谱仪之所以是一种快速的、非破坏式的物质测量方法，是因为x射线。这个射线能穿透过很多对可见光不透明的物质，如墨纸、木料等。X射线不被我们肉眼所看见，但是它可以使很多固体材料发生可见的荧光。

最初X射线用于医学成像诊断和X射线结晶学。后来，随着人们X线生物学效应的认识不断提高，在新型X线设备中大量使用了新材料、新技术、新工艺，使这些设备的射线防护功能日益完善。X射线荧光光谱仪光谱法在化学分析

主要使用X射线束激发荧光辐射，到了现在，该方法作为非破坏性分析技术，并作为过程控制的工具，广泛应用于采掘和加工工业。原则上，较轻的元素，可分析出铍（z=4），但由于仪器的局限性和轻元素的低X射线产量，往往难以量化，所以针对能量分散式的X射线荧光光谱仪，可以分析从轻元素的钠（z=11）到铀，而波长分散式则为从轻元素的硼到铀。本功能是由仪器判断所含元素与波峰的重叠情况，并自动选择统计误差较小的分析线。可以更加有效地管理精度、提高测量效率。