1)抽气系统的检查。检查旋片式真空泵油的牌号是否正确、油位是否适中、油的外观是否异常等；裣查真空泵的性能、检查真空电磁阀的性能、检查抽气系统有无泄漏等。
2)旋片式真空泵机组气密性的检查。包括检漏和真空检漏。检漏通常采用压力检漏、电子卤素检漏、真空检漏和氦质谱检漏仪检漏四种方法。
a.压力检漏。旋片式真空泵机组总装完毕后，首先对机组进行压力检漏，步骤为：向机组内充人表压力为0.15MPa的氮气-检查法兰密封面、螺纹联接处、传热管胀接接头、焊缝等可能泄漏处，涂以肥皂水或其他发泡剂检漏-无泄漏点时，对机组进行保压检查。除去气候因素影响后，机组因泄漏导致的气体压力下降应在66.5Pa以内。
b.卤素检漏。由于溴化锂吸收式热泵机组筒体的充气压力限制和观察时间较长，不能满足低漏率的检测要求，为进一步提高机组的气密性，可在压力检漏后，再用灵敏度较高的电子卤素检漏仪检查，卤素检查用的卤素有R22、R134a等。
卤素检漏的方法为：先将机组抽空至50Pa的压力，然后向机组内充人一定比例的氮气和氟利昂（如R22)，通常氟利昂可占20%,待气体充分混合后，用卤素检漏仪对焊缝、阀门、法兰密封面及螺纹接头等处检查。
卤素检漏合格后，需对机组抽真空。由于氟利昂扩散性强，机组中的氟利昂难以抽尽，解决办法是在机组抽成真空后，再向机组中充人一些氮气，和机组内的残留氟利昂混合，再将机组抽真空，这样反复几次，后将机组抽成高真空。
c.真空检漏。机组在压力检漏合格后，为进一步验证在真空状态下的可靠程度，需要进行真空检漏，具体步骤为：使机组内不含水分-将机组通往大气的阀门全部关闭-用真空泵将机组抽至50Pa的压力-保持24h,除去环境温度、压力的影响因素后，机组内压力升高（或真空度降低）不超过5Pa(从低温热源吸热量小于1250kW的机组不超过10Pa)时，则机组在真空状态下的气密性是合格的。
d.氦质谱仪检漏。氦质谱仪是原子能工业中常用的一种检漏设备，现在吸收式机组中已得到广泛应用，其灵敏度，机组经其检漏后，可更进一步提高气密性，有利于机组的性能及寿命的提高。
(3)机组电气设备和自控元器件的检査
1)机组现场接线的检査。按照现场接线，检査电源及其设备的动力与互锁接线。
2)机组自动控制系统的检查。包括机组的元器件和控制箱内的元器件的检查、自动阀门和传感器及其安装以及接线情况的检査、屏蔽泵启动与关闭检查；屏蔽泵过载保护检查；燃烧器互锁保护检査；水低温保护检査；水流量保护检査；高压发生器高压开关检査；高压发生器高温开关检査；燃烧高温开关检查；高压发生器高或低液位开关检查；蒸发器工质水液位开关检查。
3)各控制系统检查后应恢复原状态。
