为什么光谱仪定量分析存在准确度的问题，这是因为定量分析是一种测量，而作为任何测骨，都一定带有误差。准确度和误差实际上是对同一个问题的两种说法，误差，即准确度高，误差，即准确度低。表示分析误差的方法有两种：一是误差；二是相对误差。我们从实际例子即能区分两种误差，例如，高速钢中钨或者不锈钢中铬含量都在18%左右，炉前分析的误差约是士0.20%，误差就是±0.20%，通常以o表示，相对误差则为（±0/CGone)×99%，其中Come为含量。因此上例的相对误差按（±0.2/18）×99%，约为±1.1%，如分析碳素钢中锰含量范围0.17%~0.37%，分析的误差士0.005%，相对误差±1.35%。再如分析某元素的含量0.003%，误差土0.0005%，相对误差16.6%。这些例子说明光谱分析仪的一个固有规律，即相对误差随含量降低而增。

分析结果与实际含量之间的偏离就是误差。分析结果的误差可以来源于几个方面，以光谱分析而论，可以来源标准样品及分析样品的成分分布的不均匀，以及标准样品及分析样品性质不一致，也可以来源光源激发的不稳定，也可以来源于分光系统、出射狭缝的偏离。正常操作和仪器工作状态下引起的误差原因，总起来可归为两类：系统误差和偶然误差（或称随机误差）。两者如何区分?系统误差偏向一方的，或者是经常偏高，或者经常偏低，上面提到的标准样品和分析样品的性质不一致，导致分析结果具有系统误差，采用一致性质的样品，即能消除这类误差。偶然误差不是偏向一方的，正的误差和负的误差有同样出现的机会。例如样品的不均匀，光源的不稳定，等等，偶然误差不可能消除，但采取措施，改善条件，可以降低