电感耦合等离子体发射光谱仪又称为ICP光谱仪、ICP原子发射光谱仪，以电感耦合高频等离子体为激发光源，利用每种元素的原子或离子发射特征光谱来判断物质的组成，进行元素的定性与定量分析。
可以看到，ICP光谱仪主要由进样系统、电感耦合等离子体光源(ICP)、光谱仪的分光(色散)系统以及检测器-光电转换器件等部分组成。其中，进样系统是ICP光谱仪的重要组成部分，也是当前ICP光谱分析研究中较为活跃的领域，涵盖液体、气体或者固体进样。电感耦合等离子体光源(ICP)的重要性不言而喻，它是利用通过高频电感耦合产生等离子体放电的光源。色散系统就是，将复合光通过色散元素分光，从而得到一条按照波长顺序排列的光谱，即将复合光束分解为单色光。光电转换器件是光电光谱仪接收系统的核心部分，主要是利用光电效应将不同波长的辐射能转化成光电流的信号。
ICP光谱仪的分析过程主要分三步，即激发、分光和检测。其一，激发光源使试样蒸发汽化，离解或分解为原子状态，原子也可能进一步电离成离子状态。原子及离子在光源中激发发光；其二，利用分光器把光源发射的光色散为按波长排列的光谱；其三，利用光电器件检测光谱，按所测得的光谱波长对试样进行定性分析，或按发射光强度进行定量分析。
