ICP光谱仪即电感耦合等离子体光谱仪，这种光谱仪根据处于激发态的待测元素原子回到基态时发射的特征谱线对待测元素进行分析，一般常用于无机元素的定性定量分析。雾化器作为ICP光谱仪的重要组件之一，其作用是将试液雾化。对于ICP光谱来说，雾化器的维护直接影响了检测结果的好坏。
常见故障一：矩管点燃，循环水指示灯时闪时断，火焰突灭不能工作。
原因：(1)循环水冷却，系统泵压不足；
(2)磁动仪表保护开关预值过高，经常处于长闭状态，出现假保护现象。
解决方案：(1)在原有的循环水管路中串接增压泵，增加整个水管路中的压力；
(2)除去磁仪表开关，使水流直接进入矩管系统，保持长流水。
常见故障二：反射功率超设定值，矩管源点不着火。
原因：集成板741无输出正电压信号，使反射功率无法调整，控制电路失调，片子损坏。
检修：更换集成块741
常见故障三：按矩管电源前面板rf-on键，点不着火，矩管高压耦合电容连续抖动，按键，灯不断闪动，电容打火放电。
原因：高压耦合双连电容的高压多股镀银线接触不良，不断打火发红，电容值改变不稳，导致矩管能量不能按预设值耦合，故无法点燃矩管。
解决方法：利用外套屏蔽镀银线的电缆代替高压连线，用银焊接上。
