70年代以前国内外气调设施的制氮机多选用催化燃烧式机型。我国早由山西煤炭化学研究所研制成功，它的基本原理是以铂为催化剂燃烧丙烷，不断引入空气以消耗O2，得到比较纯净的N2，送入气调库中用以降O2该机燃烧温度高达500℃，所获得的N2须经冰水降温后方可送入气调库，需要消耗大量水和燃料，操作也不太方便，目前已很少使用。

70年代末开发的焦炭分子筛制氮机。它的基本原理是用表面积极大的焦炭分子筛将O2吸附并排出高浓度的N2。后来经过发展进行园艺产品气调保鲜试验，以后很快推广到全国各地。通过引进、吸收、消化、改进，使该机更加完善，在保鲜界得到广泛认可和应用。研究结果证明，碳分子筛制氮机确比燃烧式制氮机有许多优点，它无需燃烧和降温处理，操作也相对简单。但其机体庞大和需要更换碳分子筛等则是它的先天不足。

80年代，随着科学技术的发展和工业加工水平的提高，又出现了新一代制氮设备，即膜分离制氮机。这种制氮机的心脏是一组极细的中空膜纤维组件。将洁净的压缩空气通过膜纤维组件将O2和N2分开，所产N2比催化燃烧式更纯净，其机械结构比碳分子筛制氮机更加简单，也更易于自动控制和操作，在价格上仍稍高于碳分子筛制氮机。这是迄今为止被认为是制氮设备中的一种机型。

目前市场上普遍用的是PSA空分制氮机，也就是变压吸附式制氮机，变压吸附制氮流程简朴，设备数量少，主要设备仅有空压机、空气干燥器、吸附制氮机和储气罐等。