一、产品介绍

用于扫描电镜（包括电子探针等）仪器主要性能的校验和检验，如图像的放大倍率检验与调整、扫描图像畸变的调整、像散调节以及样品台的复位检验等。该标准样品也是扫描电镜微米纳米长度精确测量的标准样品、是微米长度测量的可溯源级别的量值传递工具。是多个国家标准文件GB/W 27788、16594、17722、20307、JJG550等实施所必需的标准样品。

二、标准样品用途

1、可用于同时对任意两个垂直方向上的扫描电镜的图像的放大倍率进行检查或校正，是校准从10×~100,000×范围的图像放大倍率的的图形标准样品。

2、可用于对图像的X、Y方向上的畸变和边缘的畸变进行校验，是评价扫描电镜图像质量的个重要工具。

3、可直接用于同一量级物体长度的精确比对测量。

4、对样品台倾斜角和电子倾斜以及旋转调整功能的检验也有较好的作用。

5、利用标样上的“点子”图像，可对电子束作漂移检验和样品台复位检验。

标准样品基质材料为单晶硅或石英玻璃基片，材料性质稳定。在对标准样品进行观察时，可看到标准样品具有良好的导电性，并且在扫描电镜下所产生的图形具有很好的对比度，在扫描电镜下或光学显微镜下进行多次长时间的观察后，未见标准样品图形或线距结构发生变形或其他损坏，即标准样品在电子束重复照射下是稳定的。

四、标准样品均匀性

本系列标准样品的片内线距均匀性由德国联邦物理研究所(PTB)使用一台大范围计量型扫描力显微镜( M-LRSFM进行测量，40μm、20μm、10μm和5μm的线距结构的相对标准偏差分别为<0.15%、<0.25%、<0.3%、<0.5%和<1%；片间线距的均匀性送国家有色金属及电子材料分析测试中心扫描电镜实验室进行检查，随机取10个标准样品，在相同扫描电镜工作条件下获取每个标准样品上每种线距结构的图像，在每个图像上的不同位置取若干个线距周期测量4个长度数据，其测量结果标准偏差分别为：<0.39%、<0.19%、<0.21%和<0.19%，S1000微米一亚微米级系列标样，总体为5mm×5mm×0.5mm(长×宽×厚)大小的小方块。

五、操作使用

使用前应认真检查标准样品表面有无污染物和损坏，因为这会影响校准。请勿使用已破损或有污染物的标准样品！可用清洁干燥的空气或氮气清除标准样品上的灰尘、碎片或其他污染物，注意不要损坏标准样品。有条件的实验室应不定期地通过与其他标准样品的对比来检查标准样品的特性和用法来确定其检查频率。

下面8张照片显示了在不同放大倍率下的漂亮图形和长度的精度（放大观察，蔡司电镜）。这再次说明，标样的无比优良和扫描电镜（电子探针）测长的有效性和精确的程度。