激光诱导击穿光谱分析仪是利用强脉冲光聚焦到样品表面上，激发样品产生等离子体，再通过分析等离子体发射光谱进行元素的定性和定量测量，是一种原子发射光谱技术。在针对气溶胶的测量中，如果直接对大气环境中的气溶胶进行激发就是直接测量法，如果需要预先对气溶胶进行采样，就是间接测量法。
它利用高能量聚焦脉冲激光光束激发样品表面，对产生的原子光谱进行分析得到对应元素成分及含量。是一种快速、定性定量的分析手段。随着激光器以及光谱仪小型化技术的发展，轻便的手持LIBS光谱仪成为现实。基于激光诱导击穿光谱(LIBS)技术，广泛用于地质、环境、制药、陶瓷、耐火材料、水泥、煤炭、无机化工、冶金等行业领域，是物质元素成分分析的历史性变革。
激光诱导击穿光谱分析仪的优点有：可以在线测量，无需制作样品或者预处理，测量无损，兼具快速、多元素同时测量、高灵敏度等优点。它在定性测量方面优势明显，快速且准确度高，但是定量测量相对较为薄弱。
该技术通过超短脉冲激光聚焦样品表面形成等离子体，进而对等离子体发射光谱进行分析以确定样品的物质成分及含量。超短脉冲激光聚焦后能量密度较高，可以将任何物态(固态、液态、气态)的样品激发形成等离子体，LIBS技术(原则上)可以分析任何物态的样品，仅受到激光的功率以及摄谱仪&检测器的灵敏度和波长范围的限制。再者，几乎所有的元素被激发形成等离子体后都会发出特征谱线，因此，LIBS可以分析大多数的元素。如果要分析的材料的成分是已知的，LIBS可用于评估每个构成元素的相对丰度，或监测杂质的存在。
