工作过程中，混合气会出现慢性损耗，会导致激光器性能下降，高压气瓶不是全密封的，需要定期给激光器充气，充气间隔可以是10^3~10^6个激光脉冲，以观察到明显的性能下降为准。
电极材料选用镍或溴，不再使用基于有机材料制造的润滑、密封、绝缘材料，这些措施可以使准分子气体的寿命延长到10^8个脉冲量级。所谓准分子激光，是指受激二聚体所产生的激光，之所以产生称为准分子，是因为它不是稳定的分子，是在激光混合气体受到外来能量的激发所引起的一系列物理及化学反应中曾经形成但转瞬即逝的分子，其寿命仅为几十毫微秒。
准分激光是一种气体脉冲激光，所产生的是波长为193nm的准分子激光，它是一种超紫外线光波，此波长的激光吸收范围窄，激光的能量几乎*被角膜上皮细胞和基质吸收，超过这个范围的组织不会吸收到激光，每一个激光脉冲可以切削0.2到0.25um厚度的生物组织，所以周围的组织不会损伤。
准分子激光与生物组织作用时发生的不是热效应，而是光化反应，所谓光化反应，是指组织受到远紫外光激光作用时，会断裂分子之间的结合键，将组织直接分离成挥发性的碎片而消散无踪，对周围组织则没有影响，达到对角膜的重塑目的，能消融人眼角膜预计去除的部分空间精确度达细胞水平，不损伤周围组织。它的波长短，不会穿透人的眼角膜，因此对于眼球内部的组织没有任何不良的作用。
采用高压快放电激励，主要包括：整机控制系统、激励源、放电腔、谐振腔、水电气辅助系统，一般还包括线宽压窄模块、脉冲展宽模块等。激励源产生高压快脉冲，通过放电腔对工作气体放电激励形成粒子数反转，由于增益较大，一般采用平-平结构的谐振腔形成激光输出。辅助系统提供配电、工作气体、冷却水等，激光器整体运行由整机控制系统控制。
