真空热处理即真空技艺与热处理两个专门相融合的综合技艺，是指热处理工艺的所有和部分在真空形态下进行的。真空热处理炉热效率高，可完成迅速升柔顺降温，可完成无氧化、无脱碳、无渗碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脱脂除气等作用，从而抵达表面光亮净化的功效。
真空热处理炉的重要性：
真空热处理炉是指在接近真空状态下通过电热元件加热的工业炉。真空热处理炉冷却系统是真空热处理炉的重要部分。冷却水路应保持畅透，否则水温升高造成停机。这是真空热处理炉工作时常被忽视的问题当无人管理时可能会导致真空热处理炉的重大毁坏。
真空热处理炉钼加热体长时间使用以后会呈现变硬、收缩、下坠、先倒伏搭接、后熔断(融)等现象。为使真空热处理炉加热丝在高温下存在必要的强度，防行硬化、倒塌或下垂，首先要设计真空热处理炉加热丝的构造尺寸，如螺旋形电阻丝，要注意加热元件弯径、螺距和螺旋中径等。加热体快要松靠真空热处理炉保温衬，在保温衬搁上95陶瓷件，恰当留有其膨胀空间。搁置位置要适合，一般在100～200mm一个，并能坚固钩住防止电阻丝趴上。此外应避免炉丝互相之间直接接触（短路），一般要垫隔离片。
用生物分解化学辅助方法处理冷却水，目的是保持矿物质呈悬浮态，减少橡皮管、蛇形管和水套内沉淀物累积，以使水流畅通。这一般采用一种自动装置来完成，它可以监测水的导电性，自动补充化学剂，冲冼水路，添加新鲜水。与附属蒸气过滤系统配合，这种方法还可以保证水的pH值控制，防止在冷却水系统中多余矿物质沉积。在系统工作稳定后，至少应每月一次进行水质试验以防过处理或欠过理。
真空回火炉外壳和热交换器材料的试验样品也应放在水路系统中，每年做一次重量损失检验以检查处理的效果。对扩散泵的蛇形管冷却器必须特别注意。应该经常检查。如果堵塞了，扩散泵将会过热并丧失功能，而且还进一步引起扩散泵加热器烧毁，造成昂贵的、费时的修理。当蛇形冷却水管堵塞时，将水路同水源断开，排水并用压缩空气吹通或用稀醋酸溶液冲洗。
