蓝宝石隔膜真空计SPG5A/6A使用说明书

蓝宝石隔膜真空计SPG5A/6A使用说明书

非常感谢您购买蓝宝石隔膜真空计　SPG5A/6A。本使用说明书中记载了安全及正确使SPG5A/6A的必要事项。

对于承担使用SPG5A/6A的操作盘、装置的设计、维护人员，请务必在阅读并理解本书的基础上使用。

此外，本使用说明书不只在安装时，在维护、故障维修时也是的。请常备此手册以供参考。

在订购和使用产品前，务必请先阅读“产品订购注意事项”。

概　要

蓝宝石隔膜真空计SPG5A/6A采用了蓝宝石静电容量式压力传感器的高精度，是具有高可靠性、小型、轻量的隔膜真空计。可选择有自己加热功能的机型及无自己加热功能的机型。有自己加热功能的机型可选择加热温度。主要用于半导体工艺流程。本机具有以下的特长。

・感压部材料采用具有高耐腐蚀性、高耐热性、机械特性优异的单晶体蓝宝石，通过静电容量检测方式，即使在高温检测环境下也可实现高的检测重复性。

・通过采用的显微机械加工技术形成的蓝宝石传感器、实现了大幅度的小型、轻量化。

・采用的信号处理技术、实现了温度特性、直线性等误差小的检测。

・通过采用了微处理器的数字PID运算对加热器进行温度控制、实现了迅速启动和稳定的温度控制。（有自己加热功能的机型）

・允许宽的输入电源电压范围。

・可通过Auto零点调整开关或Up/Down零点调整开关简单地实施零点调整。

・通过另售的智能编程软件包SLP-SP5J60可简单地进行监视及参数的读写操作。

・备有3个事件继电器，通过另售的智能编程软件包SLP-SP5J60可简单地对各功能的设定进行变更。

・符合IEC指令、符合CE标识。（适合规格: EN61326、 EN55011）

・可通过Auto零点调整开关或Up/Down零点调整开关简单地实施零点调整。