电感耦合等离子体质谱仪主要用于常规定量痕量元素浓度，价态分析；单颗粒模块能测定纳米材料的粒径、团聚情况和数量浓度；单细胞模块可以研究单个细胞层面元素的摄入、排出情况。该设备可测定元素周期表中大部分元素，且具有较低的检出限、极宽的动态线性范围、谱线简单、干扰少、精密度高、分析速度快等性能优势。
电感耦合等离子体质谱仪通过电感耦合等离子体(ICP)将样品解离为离子，再利用质谱仪(MS)分离并检测离子，从而确定元素种类和含量。具体流程如下：
1、样品解离：样品被引入高温等离子体炬管，基体被离子化形成一价正离子及其他微粒。
2、离子纯化：通过双锥接口和离子透镜系统，分离干扰离子，提高信噪比，传输效率达80%以上。
3、质谱分离：离子根据质荷比(m/z)在电场和磁场中沿不同路径运动，四极杆质量分析器或飞行时间质量分析器实现精准分离。
4、信号检测：电子倍增器或法拉第杯记录离子个数，动态范围达10⁹，可同时测定ppt级至百分含量级元素。
电感耦合等离子体质谱仪要求能适用于应用领域广泛的各种样品的元素分析、同位素分析分析任务，满足环境、食品、医药、地质、金属材料、生物样品、化工材料等行业的分析要求。
