氮氢空一体机内置干燥剂受潮进水是导致气体纯度下降、露点升高的首要原因，尤其在高温高湿季节频发。防潮保养必须从干燥剂管理、排水制度和停机规范三个层面系统执行。
干燥剂管理是核心。变色硅胶当百分之五十变色时必须立即更换，不可等到全部变色再处理，因为部分失效的硅胶已无法有效吸附水分，还会释放已吸附的水汽造成二次污染。受潮硅胶可在一百二十摄氏度烘箱中烘烤十二小时再生，但再生次数不宜超过两次，否则吸附容量不可逆衰减。分子筛受潮后需在二百五十至三百摄氏度马弗炉中灼烧二十四小时方可恢复性能。活性炭净化管建议每一千小时强制更换，受潮后，必须整支替换。更换干燥剂时严禁在螺纹处缠绕生料带，极易导致干燥管开裂漏气，装填硅胶时须用脱脂棉压紧两端，防止颗粒进入气路堵塞。
排水制度是防线。设备底部储气罐每周至少排水一次，潮湿季节加密至每三天一次。排水管必须接入废液瓶，禁止直接排入地面。面板排水开关每次开机时均应按压一次，利用启动自动排水功能排出冷凝水。
停机规范决定长期可靠性。设备长期不用时每周须开机运行一至两小时，保持干燥剂活性并驱散系统积湿。超过一个月不用，必须排空水箱、断开气路、关闭总电源。存放环境相对湿度应控制在百分之六十以下，远离水源和潮湿墙面。日常巡检重点观察硅胶颜色和排水量，排水量突然增大往往是干燥剂失效的前兆，应立即更换而非继续观察。
