1. 金属靶材：
镍靶，钛靶，锌靶，铬靶，镁靶，铌靶，锡靶，铝靶，铟靶，铁靶，锆靶，硅靶，铜靶，钽靶，锗靶，银靶，钴靶，金靶，钆靶，镧靶，钇靶，铈靶，铪靶，钼靶，铁镍靶，钨靶，不锈钢靶，锆铝靶，镍铁靶，钛铝靶，铁钴靶，镍铬靶，铜铟镓靶，铝硅靶，锌铝靶等溅射靶材。
2. 陶瓷靶材
ITO靶、AZO靶，IGZO靶，氧化镁靶、氧化钇靶，氧化铁靶，氧化铁靶、靶，氧化铬靶、氧化锌靶、硫化锌靶、靶，硫化钼靶，二氧化硅靶、一氧化硅靶、氧化铈靶、二氧化锆靶、五氧化二铌靶、靶、二硫化钼靶，二氧化铪靶，二硼化钛靶，二硼化锆靶，三氧化钨靶，三氧化二铝靶，五氧化二钽靶、氟化镁靶、氟化钇靶、硒化锌靶、氮化铝靶，氮化硅靶，氮化硼靶，氮化钛靶，碳化硅靶，铌酸锂靶、钛酸镨靶、钛酸钡靶、钛酸镧靶等陶瓷溅射靶材.
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