碳化硅衬底 精抛精磨纳米级氧化铝金刚石抛光液

型号: HPLALSC

颜色:乳白色

介质:水溶性

平均粒径: 0.3-9微米

Al2O3含量（%）: 10

PH值: 7

比重（20°C）g/cm³: 1.5-2.0

应用：碳化硅晶圆表面的抛光处理。

特点：特制 碳化硅抛光液，氧化铝硬度高，六角柱体晶格结构，适用于超高硬度材料抛光。

案例：

碳化硅晶圆抛光规格：

材质：4H-N型碳化硅晶体

晶向：off axis 4.0˚toward <1120>±0.5˚

直径：100.0mm±0.1mm

厚度：350±25um

Si面粗糙度：Ra < 0.5nm（化学抛光CMP）

C面粗糙度：Ra < 1nm（物理抛光）

TTV≤20 um

Bow≤25 um

Warp≤40 um

常规包装：500ml；5L

储存方式：存放温度为5°C~30°C，常规温度25°C，避免阳光照射

保质期限：抛光液保质期限为1年

稀释比例：稀释需要去离子或蒸馏水，建议稀释比例：氧化铝1:1~1:20

备注：下单前需要与客服确认，特殊产品有起订量的要求