uPG 101
uPG 101 是很经济，容易去用微型发生器进行直写应用和低容量掩模制作的一个系统。这个系统可运用的应用有，微电子机械系统、生物微系统、集成光学、微流道或者其他需要高分辨率的微型系统。他的面积很小只有60*1875px^2，的紧凑结构，使得所有的电子分量都可以完整的包含在这个系统中。个人电脑可以用来控制这个系统，这个基于操作软件的图形用户界面使用户更容易去进行设计，生成目录，自动对准和生成曝光。
重要特征选项
最小基板尺寸 6"x 6"
最小庙会尺寸0.6um
最小描绘网格20nm
基本灰度曝光模式
实时自动对焦系统
标准或者紫外二级管激光源
矢量和栅格曝光模式
可交换的写模式
摄像系统的一致性
多种数据输入模式
技术参数
写入模式 | 1 | 2 | 3 | 4 |
最小结构大小（um） | 0.6 | 1 | 2.5 | 5 |
写速度（mm^2/min） | 1 | 5 | 35 | 90 |
地址网格（nm） | 20 | 40 | 100 | 200 |
边缘粗糙度（3σ，nm） | 100 | 120 | 200 | 400 |
线宽均匀度（3σ，nm） | 150 | 200 | 400 | 800 |
线条测量精度（3σ，nm） | 200 | 200 | 400 | 800 |
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