VFT光纤过真空装置可以将光导入或导出真空室,以实现超高真空的应用场合,例如半导体处理的光学监测和薄膜吸附的*终检测。采用VFT光纤过真空装置可以检测真空环境下,样品的透射/吸收,以及荧光反射等光学反应!
在隔空箱和高压应用场合下有较好的表现,真空度高达*大10 -7mbar ,操作温度高达300℃,真空室壁厚5-40mm,玻璃或金属封口光纤使性能表现提高,VFT光纤过真空装置使用牢固的金属-玻璃封口胶,使VFT在超高真空应用场合的表现得到提高。
VFT光纤过真空装置除了在半导体和薄膜处理方面的应用,还是环境检测、药*学处理和光学涂层生产的理想工具。它还可以应用在分子束外延和化学物理的蒸汽吸附方面,可以作为配合隔空箱、手套箱和中压装置的性能优异的通管。
仟渔 | https:/// |
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