多维磁场探针台测试系统无磁材质半导体测试 北京锦正茂科技有限公司提供的多维磁场探针台,采用无磁材料制成,采用亥姆霍兹线圈正交放置,产生空间多维磁场。线圈可采用自然冷却(磁场较小)或水冷结构(磁场较大),标配线圈过热保护装置。配合高精度双极性直流电源可长时间稳定工作。通过软件或者电源控制面板控制每一维输出电流,可以产生空间任意方向的矢量磁场。探针台配备有可移动样品台,可以实现水平方向二维移动和360度转动,便于样品的安装和测试。探针台具有四个高精度探针臂,同时配有高精度电子显微镜,便于微小样品的观察操作。探针可通过直流或者低频交流信号,用来测试芯片、晶圆片、封装器件等。 多维磁场探针台测试系统无磁材质半导体测试
可选附件:
þ 各类DC探针、高频探针、主动式探针、电缆线
þ CCD或C-MOS视频成像装装置
þ Chuck运动装置
þ 电磁铁系统/超导磁铁系统
þ 1Mpa正压系统升级
þ 超高温升级选件
þ 超高真空升级选件
þ 各类探针夹具
þ 屏蔽箱
þ 防振桌
þ 转接头
þ 真空泵
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