概括

椭圆偏光法是一种在光束与探测样本反应后利用偏振态变化的技术。典型的椭圆偏振仪设置包括光源，偏振光学器件（如偏振器，分析器，相位延迟器或称为补偿器），样品台，检测单元，入射角变化装置，用于数据采集和建模的计算机和软件。与反射计不同，椭圆计参数（Psi和Del）总是在非法向入射角处获得。通过改变入射角，可获得更多的数据集，这将有助于改进模型，减少不确定性，提高模型输出能力。因此，可变角度椭偏仪比固定角度椭圆偏振仪强大得多。此外，通过利用宽带光源，可获得许多波长点的波长范围内的光谱数据，因此可以极大地提高光学性能的测量精度。通过实施*的探测器阵列已经克服了光谱数据的测量速度，可同时采集数千个数据。利用这种配置能够收集更多数据集，可利用软件内置的强大功能来分析复杂的层堆栈。

有两种方法可以手动或自动更改入射角度。这两种角度调整模型，通过按照精确预设的插槽（手动测角仪，SExxxBM）以5度间隔移动，手动调整角度，以及具有度分辨率（SExxxBA）的电动精密测角仪。此外，测角仪采用垂直布局设置，样品可水平放置，处理样品时更安全。通过可靠且足够的原始数据集建模获，可获得膜的许多特性，例如膜厚度，其光学常数，界面，孔隙率，甚至成分。从这个意义上说，高级软件是高性能SE工具的条件。我们开发了用于系统设置的TFProbe 版软件，模拟，测量，分析，数据管理和2D / 3D图形演示，一体化。

光谱椭偏仪特征：

•基于Window软件，易于操作；

•*的光学设计，实现系统性能；

•高功率DUV-VIS-NIR光源，适用于宽带应用；

•基于阵列的探测器系统，确保快速测量；

•用户可以根据需要定义任意数量的图层；

•能够用于实时或在线厚度，折射率监测；

•系统配有全面的光学常数数据库；

•高级TFProbe 3.软件允许用户对每个胶片使用NK表，色散或有效介质近似（EMA）；

•三种不同的用户级别控制：工程师模式，系统服务模式和简易用户模式；

•灵活的工程模式，适用于各种配方设置和光学模型测试；

•强大的一键式按钮解决方案，用于快速和常规测量；

•可按照用户偏好配置测量参数，操作简便；

•系统全自动校准和初始化；

•直接从样品信号获得精确的样品对齐接口，无需外部光学元件；

•精确的高度和倾斜程度调整；

•适用于许多不同类型的不同厚度的基材；

•各种选项，附件可用于特殊配置，如绘图阶段，波长扩展，焦点等；

•2D和3D输出图形以及用户数据管理界面；

光谱椭偏仪应用：

•半导体制造（PR，氧化物，氮化物 ）

•液晶显示器（ITO，PR，Cell gap ）

•法医学，生物学材料

•油墨，矿物学，颜料，调色剂

•制药，科研

•光学涂层，TiO2，SiO2，Ta2O5

•半导体化合物

•MEMS / MOEMS中的功能薄膜

•无定形，纳米和硅晶圆

•太阳能电池薄膜，CdTe，CdS，CIGS，AZO，CZTS

光谱椭偏仪技术参数：

迈可诺技术有限公司

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