美国MTI 300I 无接触式硅片测量仪 进口硅片测试装置
产品简介:
美国MTI的晶圆全检仪可以测量硅片厚度、总厚度变化TTV、弯曲度、翘曲度、单点和总体平整度,该仪器适用于Si,GaAs,InP,Ge等几乎所有的材料,强大的软件功能能够在几秒内测试硅片的厚度、总厚度变化TTV、弯曲度、翘曲度、单点和总体平整度,所有的设计都符合ASTM(美国材料实验协会)和Semi标准,确保与其他工艺仪器的兼容与统一。可用于75 mm, 100 mm, 125 mm, 150 mm, 200 mm多种尺寸。
产品特点:
■ 无接触测量
■ 适用的晶圆材料包括Si,GaAs,InP,Ge等几乎所有的材料
■ 厚度和 TTV 测量采用无接触电容法探头
■ 高分辨率液晶屏显示厚度和 TTV 值
■ 性价比高
■ 菜单式快速方便设置
■ 高分辨率液晶 LCD 显示
■ 提供和计算机连接的输出端口
■ 提供打印机端口
■ 便携且易于安装
■ 为晶圆硅片关键生产工艺提供精确的无接触测量
■ 高质量微处理器为精确和重复精度高的测量提供强力保障
■ 高质量 聚四氟乙烯晶圆测试架,为晶圆硅片精确定位提供保障
技术指标:
■ 晶圆硅片测试尺寸: 50 mm - 300mm.
■ 厚度测试范围: 1000 u m , 可扩展到 1700 um.
■ 厚度测试精度: +/-
■ 厚度重复性精度:
■ TTV 测试精度 : +/-
■ TTV 重复性精度 :
■ 弯曲度测试范围: +/-500um [+/-850um]
■
所有评论仅代表网友意见,与本站立场无关。