TMC STACIS IIIc 紧凑型有源压电 主动隔振
STACIS IIIc 是我们STACIS III 有源压电振动消除系统的紧凑型版本。它以较低的高度提供同样出色的隔振性能。
STACIS IIIc 非常适合没有活动地板或活动地板非常低的情况，在这种情况下，标准 STACIS III 系统的高度会使仪器过高。
STACIS IIIc 配置中，高度小于常规 STACIS III 高度的 60%。在具有 3 个以上隔离器的系统中，高度将在 60% 到 70% 之间，具体取决于有效载荷设置。
STACIS IIIc 的优势-
与性能没有降低的常规 STACIS III 系统相比，隔离器高度最多可减少 42% 。
STACIS 的硬度是空气隔振器的数百倍，不受空气隔振系统的任何限制。没有“软"悬架，而且与主动空气系统不同，STACIS 可以放置在带有内部主动空气隔离系统的工具下方，两个系统都经过全面优化。
du特的串行设计和专有的高压压电技术
可实现从 0.6 Hz 到 150 Hz 的宽活动带宽和wu与lun比的真正主动隔振，从 2 Hz 开始可减少 90% 的振动。
TMC STACIS IIIc 紧凑型有源压电 主动隔振
性能规格
| 主动自由度 | 6个 |
| 有效带宽 | 0.6 赫兹 - 150 赫兹 |
| 被动固有频率 | 18 赫兹垂直和水平 |
| 有效主动谐振频率 | 0.5赫兹 |
| 1 Hz 时的隔离 | 40% - 70% |
| ≥2 Hz 时的隔离 | ≥90% |
| 10 磅（4.5 千克）阶跃输入后的稳定时间（10:1 减少） | 0.3秒 |
| 内部噪音 | <0.1 纳米均方根 |
| 每个隔离器的工作负载范围 | 低容量：182-500 千克（400-1100 磅） 中容量：410-955 千克（900-2100 磅） 高容量：864-2045 千克（1900-4500 磅） |
| 刚度（1000 磅/454 千克质量，中等容量隔离器） | 40,000 磅/英寸 (73 x 10 5牛顿/米) |
| 从隔离器发出的磁场为 4 英寸（102 毫米） | <0.02 μG 宽带 RMS |
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