SJ6000激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体,产品采用进口高性能氦氖激光器,其寿命可达50000小时;采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、抗力强、长期稳定性好的激光频率输出;采用高速干涉信号采集、调理及细分技术,可实现 高4m/s的测量速度,以及纳米级的分辨率;采用高精度环境补偿模块,可实现激光波长和材料的自动补偿;采用高性能计算机控制系统及软件技术,支持中文、英文和俄文语言,友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。
SJ6000激光干涉仪特点优势
精度高
SJ6000激光干涉仪以干涉技术为核心,其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、抗力强、长期稳定性好的激光频率输出;采用高精度环境补偿模块,可实现激光波长和材料的自动补偿;干涉镜与主机分离设计,避免干涉镜受热影响,保证干涉光路稳定可靠。
功能广
n 可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量;
n 可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等;
n 可实现对机床回转轴的测量与校准;
n 可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,为设备误差修正提供依据;
n 具有动态测量与分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等,可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等;
n 支持手动或自动进行环境补偿。
软件强
n 友好的人机界面;
n 丰富的应用功能模块;
n 向导式的操作流程;
n 简洁化的记录管理;
n 支持中文、英文和俄文界面;
n 支持企业专属模板定制。
标准多
内置13份标准,包含GB、ISO、英标、美标、德标、日标等国内外通用标准。可依据各种不同的机床标准分析处理数据,并可打印相应的曲线图和数据报告。
序号
| 标准号
| 标准名称
|
1
| GB/T
| 中国 标准
|
2
| GB 10931-1989
| 中国 标准
|
3
| ISO 230-2-1997
| 1997版国际标准
|
4
| ISO 230-2-2006
| 2006版国际标准
|
5
| ISO 230-2-2014
| 2014版国际标准
|
6
| ASME
| 美国 标准
|
7
| ASME
| 美国机械工程师协会标准
|
8
| NMTBA-1997
| 美国机床协会标准
|
9
| BS 3800-2-1991
| 英国机床标准
|
10
| BS 4656-16-1985
| 英国机床标准
|
11
| JIS B6330
| 日本 标准
|
12
| VDI 3441
| 德国机床标准
|
13
| JJG 117-2005
| 平板检定规程
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SJ6000激光干涉仪主要技术指标
主机
稳频精度:
动态采集频率:50 kHz
预热时间:≤ 6分钟
工作温度范围:(0~40)℃
存储温度范围:(-20~70)℃
环境湿度:(0~95)%RH
环境补偿单元
空气温度传感器:±℃ (0~40)℃,分辨力℃
材料温度传感器:±℃ (0~55)℃,分辨力℃
空气湿度传感器:±5%RH (0~95)%RH
大气压力传感器:±kPa (65~115)kPa
线性测量
测量距离:(0~80)m(无需远距离线性附件)
测量精度: (0~40)℃
测量分辨力:1nm
测量 大速度:4m/s
角度测量
轴向量程:(0~15)m
测量范围:±10°
测量精度:±(%R++4M)″ (R为显示值,单位:″;M为测量距离,单位:m)
测量分辨力:″
平面度测量
轴向量程:(0~15)m
测量范围:±
测量精度:±(%R+M2)μm (R为显示值,单位:μm;M为测量距离,单位:m)
基板尺寸:180mm可调,360mm可调
测量分辨力:μm
直线度测量
| 轴向量程
| 测量范围
| 测量精度
| 分辨力
|
短距离
| (~)m
| ±3mm
| ±(+5%R+5M2) μm
| μm
|
长距离
| (~)m
| ±3mm
| ±(+%R+5M2) μm
| μm
|
注:R为显示值,单位:μm;M为测量距离,单位:m
|
垂直度测量
| 轴向量程
| 测量范围
| 测量精度
| 分辨力
|
短距离
| (~)m
| ±3/M mm/m
| ±(+5%R+) μm/m
| μm/m
|
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