超精密直线伺服电机

行程: 6～990mm 

可以任意长度的滑轨部分 

应用中加速度达：400m/s2 

额定出力：6000N 340mm

定位精度：小于10nm 

下面仅是与世界的德国空气轴承生产商 Aerolas 公司合作为几个电子行业企业生产的设备。

超精密二维测量平台 

应用范围 : 半导体技术 
应用 : 测量孔的通否 / 过光 
行程 : 340 mm x 330 mm 
定位精度 : < 10 nm （全程范围内） 
驱动方式 : 磨擦轮驱动 
加速度 : 0, 25 m /s2 

高动态直线电机 

采用 AeroLas 的空气轴承可以使直线电机有高的精度和高动态特性
实际加速度达到 400 m /s2( 理论上可达 1.000.000 m/s3) 
行程 ：100 mm 
负载 ：2 kg
应用于齿轮测量，几年来已连续运行 60 亿次以上 

高加速度双轨式直线电机 

截面 ：500 mm x 250 mm 
加速度达 : 300 m /s2 且精密定位
采用空气轴承,受温度变化影响小,电缆不动
行程 ： 150 mm 
负载 ： 10 kg ，
加速度 : > 300 m /s2 
速度 : 4,7 m /s

采用空气轴承的精密测量单元 

应用于汽车行业 
行程 : 8 mm 
频率 : 50 Hz

应用领域 : 机床主驱动轴 

行程 : > 700 mm 
运动负载 : 50 kg 
电机 : 直线电机 
加速度 : 50 m /s2 
速度 : 4,5 m /s 
定位精度 : < 0,2 μm ( 无爬行和颤抖 )

圆筒式精密直线伺服电机
行程：27.5～137.5mm

加速度达：239m/s2

速度：5.74m/s

出力：1520N

定位精度：小于0.2μm 

方筒式精密直线伺服电机

行程: 6～32mm 

优异的加减速度特性 

适应高速精密往返运动

出力: 50N

定位精度: 小于0.2μm