一、FT160测厚仪的特点：
1、度X射线：仪器的核心所在是全新的毛细管聚焦光学系统，其产生的30um光束用于测量微小的半导体图案和超小型元件；
2、高灵敏的SDD检测器：这一确保实施可重复性测量以提高生产力；
3、大型样品舱门：便于操作员装载和卸载线路板，晶片和组件，以便于FT160容纳各种形状的部件；
4、高清摄像机和多模式照明：样品观测摄像机的分辨率——16倍数码变焦——结合改进的照明，使半导体表面清晰锐利，便于精度定位；
5、易于使用的控制器软件：只需要在屏幕上选择电镀和测量点，然后运行分析；
6、测量含有从铝（13）到铀（92)元素的镀层厚度和成分。

二、FT160测厚仪简介：FT160测厚仪拥有新一代的SDD探测器，可以一次性测试全部的元素，测量镀层都是符合IPC的相关规范的，这款仪器可以直接分析NiP层中的P含量，即使是在金层下面，这款仪器有的多毛细管聚焦光学系统，仪器的光斑尺寸有两种定义：包含90%的强度峰宽度，或者强度峰半高宽度（FWHM）。 FT160测厚仪使用使用多毛细管光学聚焦系统，光斑尺寸