型号

MC-10RC

MC-11RC

流量（N2换算）

10SCCM-5SLM

6SLM-50SLM

阀门动作

默认常闭

默认常闭

zui小制御流量

满量程2%

满量程2%

模拟流量设定信号

0.1-5VDC

0.1-5VDC

模拟流量输出信号

0-5VDC

0-5VDC

精度

±1.0%F.S

±1.0%F.S

再现性

±0.2%F.S

±0.2%F.S

必要差压（KPa D）

50-300

100-300(∽30SLM)

150-300(31SLM∽)

耐压

1MPa(G)

工作温度湿度范围

15-35^oC; 0-80%RH(无结露)（使用温度：5-50^oC）

15-35^oC; 0-80%RH(无结露)（使用温度：5-50^oC）

漏率

1X10^-8Pa.m³/sec  He

1X10^-8Pa.m³/sec  He

储存温度湿度范围

0-60^oC; 0-80%RH(无结露)

0-60^oC; 0-80%RH(无结露)

安装方式

自由

自由

接口部材质

SUS316L、PTFE、Viton橡胶

SUS316L、PTFE、Viton橡胶

标准接口

6.35mm(1/4")SWL(长度127mm)

6.35mm(1/4")SWL(长度127mm)

工作电源

±15VDC

±15VDC

电气接口

9Pin D-Sub(固定螺母M3)

9Pin D-Sub(固定螺母M3)

产品重量

1.2Kg

1.2Kg

VR编码

适用流量范围

（按N2换算）

可变VR值

基准流量

1

10-20SCCM

0.50-1.00

20SCCM

2

20-50SCCM

0.5-1.50

50SCCM

3

40-100SCCM

0.5-1.25

100SCCM

4

80-200SCCM

0.5-1.25

200SCCM

5

200-500SCCM

0.50-1.25

500SCCM

6

0.4-1SLM

0.50-1.25

1SLM

7

0.8-2SLM

0.50-1.25

2SLM

8

2-5SLM

0.50-1.50

5SLM

9

4-10SLM

0.50-1.25

10SLM

10

8-20SLM

0.50-1.25

20SLM

11

30-50SLM

0.60-1.00

50SLM