奥林巴斯Olympus STM7工业测量显微镜

通过整合光学显微镜的测量能力实现精确测量

多年的显微镜开发经验成就了优异的观察性能
奥林巴斯STM7工具测量显微镜系列采用了当前*光学显微镜中所使用的UIS2无限远校正光学系统。因此，观察到的图像具有高分辨率和高对比度，此外，像差也被*消除，以确保实现对微小细节的高精度测量。

作为高度测量的先锋，继续提供简单易操作的高精度3轴测量

共聚焦自动对焦系统光路

随着现代制造技术日益小型化和精密化，高精度测量也日趋重要——不仅是XY轴平面的测量，而且Z轴方向的高精度测量也成为必须。奥林巴斯成功开发了测量显微镜用采用主动反射、共聚焦方法的自动聚焦系统的公司，以此响应了这种与日俱增的需求。

严格的可追溯系统确保品质可靠
奥林巴斯通过一个严格的可追溯系统控制测量显微镜的度。并且在安装系统时奥林巴斯也提供了可追溯的校准服务。

测量显微镜跟踪系统
STM7测量显微镜设计注重易用性
提供载物台以适合眼下的样本大小

[常见问题]
短测量行程无法满足较大样品的测量需求。
目前为止，大型载物台在X轴方向提供了足够的测量行程，但是Y轴的行程仍然较小。在测量过程中需要通过旋转样品来补偿比X轴覆盖范围要短的Y轴行程，这样的做法费事费时，效率不高。
由于可测量的范围窄，无法将数量较多的样品排列在载物台上，以实现一次性同时测量。

[STM7解决方案]
共有四种*的正方形测量行程的载物台可供选用，分别为：50 mm×50 mm、100 mm×100 mm、200 mm×200 mm和300 mm×300 mm。不管是大的样品还是小的样品，总有一款载物台会适合您要测量的样品。
Ÿ 采用离合器系统可以在粗调和微调之间实现快速切换。具备了这种切换功能之后，载物台也可以沿着X轴和Y轴方向迅速移动，并且可以在XY平面上自由穿梭。
Ÿ 300 mm长的方形载物台在X轴和Y轴方向上可以提供相同的测量行程，这意味着可以不旋转样品就实现大型样品的全部测量，比如300 mm的晶圆和印刷电路板。更多详细内容请咨询上海富莱光学、奥巴仪器。

使用相同的显微镜进行低倍率和高倍率观察
[常见问题]
大部分传统的测量显微镜只可以测量物镜或金相物镜，无法同时满足多种观察要求。
[STM7解决方案]
奥林巴斯STM7工具测量显微镜可以通过安装一个测量物镜适配器使用测量物镜，而更换为物镜转盘后，便可使用金相物镜。这意味着， STM7将金相光学系统和测量光学系统同时结合在一台测量显微镜中。通过这种方式，无论是测量大型样品还是精细样品，或是表面高度差异大的样品，STM7系列都可以对应并协助用户选择*的观察方法。

测量物镜
由于测量物镜具有非常长的工作距离，因此可以在对表面起伏较大的样品进行聚焦的时候，无需担心物镜与样品之间发生接触。此外，借助测量物镜的低倍率能力，可以一次观察到较大的视场。

金相物镜
可以得到和光学显微镜相媲美的高倍率和高分辨率观察能力。更重要的是，在明场观察之外还可以对应暗场，偏光和微分干涉观察。

奥林巴斯Olympus STM7工业测量显微镜规格

			小型手动镜架 STM7-SF	小型电动镜架 STM7-SFA	中型手动镜架 STM7-MF	中型电动镜架 STM7-MAF	大型手动镜架 STM7-LF	大型镜架 STM7-LFA
显微镜镜架	聚焦	垂直移动范围	175 mm				145 mm
		zui大的测量高度	120 mm（配备测量物镜） 175 mm（配备金相物镜）				90 mm（配备测量物镜） 145 mm*1（配备金相物镜）
		Z轴测量分辨率	0.1 μm
		Z轴驱动方法	手动同轴微调/粗调焦旋钮	电马达驱动： ●聚焦按钮：移动速度 8 mm/s（zui大） ●微/粗调焦旋钮：微调焦速度（旋转一周移动量）有4档可供选择 (800 μm，400μm, 100 μm，50 μm)	手动同轴微调/粗调焦旋钮	电马达驱动： ●聚焦按钮：移动速度 8 mm/s（zui大） ●微/粗调焦旋钮：微调焦速度（旋转一周移动量）有4档可供选择 (800 μm，400μm, 100 μm，50 μm)	手动同轴微调/粗调焦旋钮	电马达驱动： ●聚焦按钮：移动速度 8 mm/s（zui大） ●微/粗调焦旋钮：微调焦速度（旋转一周移动量）有4档可供选择 (800 μm，400μm, 100 μm，50 μm)
	照明	LED照明	白色：用于反射光照明，绿色：用于透射光照明
镜筒			正像单目镜筒，正像三目镜筒(100:0/0:100)
物镜		测量显微镜用	MM6-OB系列
		金相显微镜用	MPLFLN系列, LMPLFLN 系列, MPLFLN-BD 系列, LMP LFLN-BD 系列
目镜			MM6-OCC10X (带十字线, FN 22), MM6-O C10X (FN 22)
载物台		测量范围	STM7-CS50: X轴 50 mm, Y轴 50 mm STM7-CS100: X轴 100 mm, Y轴 100 mm		STM7-CS200: X轴 200 mm, Y轴 200 mm		STM7-CS300: X轴 300 mm, Y轴 300 mm
		测量度 (L：测量长度)	STM7-CS50: (3+L/50) μm STM7-CS100: (3+2L/100) μm		(3+4L/200) μm		(3+6L/200) μm
		度保证重量	STM7-CS50: 5 kg STM7-CS100: 6 kg		10 kg		15 kg
计数器显示		轴数	3轴
		单位	毫米/微米/英寸/密耳
		zui小分辨率	0.1 μm
外形尺寸（宽×长×高）（mm）			466 x 583 x651	466 x 583 x 811	606 x 762 x 651	606 x 762 x 811	804 x 1024 x 686	804 x 1024 x 844
重量			约84 kg	约92 kg	约152 kg