真空烧结炉一般由炉膛﹑电热装置﹑密封炉壳﹑真空系统﹑供电系统和控温系统等组成。密封炉壳用碳钢或不锈钢焊成﹐可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。为防止炉壳受热后变形和密封材料受热变质﹐炉壳一般用水冷或气冷降温。炉膛位於密封炉壳内。根据炉子用途,炉膛内部装有不同类型的加热元件,如电阻﹑感应线圈﹑电极和电子等。熔炼金属的真空炉炉膛内装有坩堝,有的还装有自动浇注装置和装卸料的机械手等。真空系统主要由真空泵、真空阀门和真空计等组成。
真空烧结炉的主要特点
产品用处:适用于电子陶瓷、玻璃、晶体、粉末冶金、纳米资料、金属零件、电子元器件、新型资料及粉体资料在真空环境下进行热处理。
主要功用和特点:
1、大屏幕接触显现,本机集成了真空泵,内循环水冷却体系,防止外接水源的繁锁,使设备的外表面温度更低,美观大方,操作简洁。
2、本款产品加热体系,真空体系,内循环水冷却体系,监测体系,都可通过操控按钮操作。本机功用全面,满意客户绝大部分要求。
3、的真空设计,的密封技术,保证了炉腔的气密性,真空度远远产品。
4、智能PID高精度操控,自整定功用,30段可编程操控,可设置30段升降温程序,实现了功率无损耗。
5、可选配485转换接口,实现与计算机相互连接。选配的电脑操控体系来完成与单台或多达200台电炉的远程操控、实时追踪、历史记录、输出报表等功用。
6、热污染少,采用国内新型高纯氧化铝微晶体纤维保温资料,
7、控温精细,具备多种温控器可供选择,温度波动小(控温精度±1℃)。
真空烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺,可进行真空烧结,气体保护烧结及常规烧结。是半导体设备系列中一种新颖的工艺装备,它设计构思新颖,操作方便,结构紧凑,在一台设备上可完成多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理,真空钎焊等工艺。
真空烧结炉安全操作规程
1、中频电源、真空炉炉体、感应圈之冷却水源——蓄水池之水必须充满,水中不得有杂质。
2、开动水泵,使其中频电源,真空炉感应圈、炉体冷却系统水循环正常,并调整水压控制在规定值。
3、检查真空泵电源系统,皮带盘皮带松紧,真空泵油是否位于油封观察孔中线。检查妥后,人工转动真空泵皮带盘,如无异常,可在关闭蝶阀的情况下,启动真空泵。
4、检查真空炉体内情况,要求真空炉体内一级卫生,感应圈绝缘良好,密封真空胶带具有弹性,尺寸合格。
5、检查真空炉体的杠杆手把启动是否灵活。
6、检查转动式麦氏真空计是否合乎要求。
7、检查石墨坩埚,装炉配件是否齐全。
8、在以上准备就绪后,接通电源,中频电源合闸,按中频启动规则,试启动变频,成功后停止变频,方可开炉。
9、真空炉体上盖的观察、测温孔,每次开炉均需清洁处理,以便观察和测温。
10、装炉时应根据不同烧结产品,采取相应装炉方式。按有关材质装炉规则装盘,不得随意更改。
11、为了保持恒温,防止热辐射,发热坩埚上加二层碳纤维,再罩上隔热屏。
12、垫好真空密封胶带。
13、操作杠杆手把,转动真空炉顶盖与炉体密切重合,放下顶盖,并锁好固定螺母。
14、徐徐打开蝶阀,抽炉体空气,至真空度达到规定值。
15、在真空度达到规定要求后,开始启动变频,调整中频功率,按有关材质的烧结规定操作;升温、保温冷却。
16、烧结完毕后,停止变频,按停止变频开关,逆变停止工作,断开中频电源分闸与断开电源总闸。
17、从炉体观察孔观察炉膛发黑后,先关闭真空泵蝶阀与断开真空泵电流,再接自来水继续冷却感应圈和炉体,后停水泵。
18、中频电压750伏有触电危险。在整个操作和检查过程中,要注意操作安全,不要用手接触中频电柜。
19、在烧结过程中,随时从炉体侧面观察孔观察感应圈是否发生放弧现象,如发现异常现象,应立即报告有关人员处理。
20、启动真空蝶阀应缓慢,否则会因抽气过急而冒油,带来不良后果。
21、正确使用转动式麦氏真空计,否则会造成真空读数误差或因操作过急而使溢出造成公害。
22、注意真空泵皮带盘安全运行。
23、在垫真空密封胶带,盖炉体顶盖时,注意防止压手。
24、凡在真空条件下,容易挥发影响真空卫生,造成管道堵塞、真空泵脏化的工件或容器,不得入炉。
25、凡产品加有成型剂(如油或石蜡),必须脱掉方可入炉烧结,否则会造成不良后果。
26、全部烧结过程中,要注意水表压力范围和冷却水循环,以免发生事故。
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