洁净室微振控制
一、有微振控制要求的洁净厂房设计应符合下列规定：
1.在结构选型、隔振缝设置、壁板与地面、壁板与顶棚连接处，应按微振控制要求设计。
2.洁净室与周围辅助性站房内有强烈振动的设备及连接管道应采取主动隔振措施。
3.应测定洁净厂房内、外各类振源对洁净厂房精密设备﹑精密仪器仪表位置处的综合振动影响，以决定是否采取被动隔振措施。
二、精密设备、精密仪器仪表的容许振动值应由生产工艺和设备制造部门提供。当生产工艺和设备制造部门难以提供容许振动值时，可按现行国家标准《隔振设计规范》GB 50463的有关规定执行。

三、精密设备、精密仪器仪表的被动隔振设计应具备下列条件：
1.周围振源对其综合影响的振动数据。
2.设备、仪器仪表的型号、规格及轮廓尺寸图。
3.设备、仪器仪表的质量、质心位置及质量惯性矩。
4.设备、仪器仪表的底座外轮廓图,附属装置,管道位置及坑、沟、孔洞尺寸，地脚螺栓及预埋件位置等。
5.设备、仪器仪表的调平要求。
6.设备﹑仪器仪表的容许振动值。
7.所选用或设计的隔振器或隔振装置的技术参数.外形尺寸及安装条件。
四、精密设备﹑精密仪器仪表的被动隔振设计应符合下列规定：
1.隔振台座应具有足够的刚度。
2.隔振台座应采取倾斜校正措施。
3.隔振系统各向阻尼比不应小于0.15。
4.隔振措施不应影响洁净室内的气流流型。
五、精密设备、精密仪器仪表的被动隔振措施宜采用能自动校正倾斜的空气弹簧隔振装置。对供应空气弹簧用的气源应进行净化处理。

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