Park Systems原子力显微镜 NX-20

仪器简介:

    NX-20具有的形貌表征能力，完善的设计使其保证了扫描的高精确度和数据的高重复性。高度自动化的软硬件，极大地避免了人为操作的失误和误差，提高了工作效率测量，降低了劳动强度。该仪器具备高速的伺服响应能力，超高的扫描器线性度，极低的闭环检测器噪声水平，和zui小的系统热漂移量。作为一款界面友好，操作简便的仪器，NX-20会成为纳米研究领域及相关产业界的得力助手。

Park Systems原子力显微镜 NX-20技术参数：

扫描器

XY扫描器

柔性制导闭环控制单模块扫描器

扫描范围100μm*100μm（可选50μm*50μm）

平面偏移度:<2nm（全量程扫描）

Z扫描器

柔性制导强力扫描器

扫描范围15μm（可选30μm）

定位检测噪声：0.03nm（带宽：1kHz）

共振频率：>9kHz

表面成像噪声：0.03nm

样品台

样品台种类：16位点样品台/150mm直径真空吸附台（可选200mm直径真空吸附台）

样品尺寸： 150mm*150mm*20mm

样品重量：zui大500g

样品台移动范围：150mm*150mm（可选200mm*200mm）

主要特点：

一、高精确性和高重复性

● 探针几乎没有损耗，保证了图像的高分辨率

● 非接触模式下zui快的扫描速度

● 的双路闭环解耦合XY平板式扫描器

● 业内zui小的系统漂移和迟滞

二、低噪声检测器精确测量样品形貌

●采用业界的低噪声检测器测量样品形貌

● 消除了蠕变效应导致的边缘超调误差

● 高速扫描过程中的精确形貌检测记录

●业界的极小正反测量偏离量，小于0.15%

三、Non-Contact™(真正非接触) 模式极大降低了使用成本

●相对于传统扫描模式，将探针寿命提高了10倍以上

●极低的探针损耗极大地延长了探针高分辨扫描寿命

●对样品几乎没有磨损