特点
◆配置功能强大的FRIMS软件。
◆花岗石特制的立柱和底座，坚硬变形。
◆稳定高效的闭环控制，高速度，高精度批量检测。
◆核心部件。
◆优良的装配工艺。
◆选配激光或接触式探针系统实现3D测量。
机台型号 | FVG5040 | FVG7060 | FVG9070 | FVG1210 | FVG1512 | |||
| 机台结构 | 高精密花岗石承载式龙门结构 | |||||||
| 测量行程X/Y/Z(mm) | 400*500*200 | 600*700*200 | 700*900*200 | 1000*1200*200 | 1200*1500*200 | |||
| 机台承重 | 100kg | |||||||
| 外观尺寸LXYZ （mm） | 1550*1100*1580 | 1750*1340*1590 | 2100*1580*1590 | 2500*1850*1590 | 2700*2000*1590 | |||
| 机台重量 | 2100kg | 2300kg | 2600kg | 2900kg | 3200kg | |||
| 运动控制 | 全闭环4轴自动控制 |
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| 测量精度 | X/Y轴 | E1=（2.5+L/200）μm | ||||||
| Z轴 | E2=（5+L/200）μm | |||||||
| 速度 | X/Y轴 | 500MM/S | ||||||
| Z轴 | 300MM/S | |||||||
| 光源控制 | 表面光 | 五环八区四十项程控式LED冷光源 | ||||||
| 轮廓光 | 程控式LED平行冷光源、256级可调 | |||||||
| 光学系统 | 美国NAVITAR自动变焦镜头模组 | |||||||
| 放大倍率 | 光学放大0.7-4.5X影像放大22-145X | |||||||
| 影像系统 | 高灵敏度高分辨率1/2’’CCD黑白/彩色 | |||||||
| 运动系统 | 承载式超精密级THK直线导轨 | |||||||
| 运动控制系统 | YASKAWA AC伺服马达 | |||||||
| 光栅尺 | 高分辨率光栅尺，分辨率：0.5μm | |||||||
| 工作环境 | 温度 | 20±2℃ | ||||||
| 湿度 | 35％-65％ | |||||||
| 震动 | 震动＜0.002g，低于15Hz | |||||||
| 电源 | 220V/50Hz/10A | |||||||
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