日本小阪微细形状测定机 ET4000
日本小阪微细形状测定机 ET4000产品介绍
· 高精度.安定性.机能性适合于FPO基板·晶圆硬盘等的微细形状、 段差、粗度测定的全自动微细形状测定机,针对用途有多机种可供选择· ET4000AL一多机能的全自动微细形状测定机· ET4000L一对应大型工件的全自动微细形状测定机· ET4000ML一高性能的泛用微细形状测定机产品特点试片尺寸210×210mm~300×400mm重现性1σ 0.5nm以内测定范围Z:100µm X:100mm (Y移动量:150~400mm)分解能Z:0.1nm X:0.1µm测定力0.5µN~500µN (0.05mg-50mg)
日本小阪微细形状测定机 ET4000产品概述
1、高精度.安定性.机能性适合于FPO基板·晶圆硬盘等的微细形状、 段差、粗度测定的全自动微细形状测定机,针对用途有多机种可供选择
2、ET4000AL一多机能的全自动微细形状测定机
3、ET4000L一对应大型工件的全自动微细形状测定机
4、ET4000ML一高性能的泛用微细形状测定机
日本小阪微细形状测定机 ET4000产品特点
试片尺寸 | 210×210mm~300×400mm |
重现性 | 1σ0.5nm以内 |
测定范围 | Z:100µm X:100mm (Y移动量:150~400mm) |
分解能 | Z:0.1nm X:0.1µm |
测定力 | 0.5µN~500µN (0.05mg-50mg) |
仟渔 | / |
所有评论仅代表网友意见,与本站立场无关。