产品介绍:
高精度.安定性.机能性适合于FPO基板·晶圆硬盘等的微细形状、 段差、粗度测定的全自动微细形状测定机,针对用途有多机种可供选择· ET4000AL一多机能的全自动微细形状测定机· ET4000L一对应大型工件的全自动微细形状测定机· ET4000ML一高性能的泛用微细形状测定机产品特点试片尺寸210×210mm~300×400mm重现性1σ 0.5nm以内测定范围Z:100µm X:100mm (Y移动量:150~400mm)分解能Z:0.1nm X:0.1µm测定力
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产品介绍:高精度.安定性.机能性适合于FPO基板·晶圆硬盘等的微细形状、段差、粗度测定的全自动微细形状测定机
产品介绍:
高精度.安定性.机能性适合于FPO基板·晶圆硬盘等的微细形状、 段差、粗度测定的全自动微细形状测定机,针对用途有多机种可供选择· ET4000AL一多机能的全自动微细形状测定机· ET4000L一对应大型工件的全自动微细形状测定机· ET4000ML一高性能的泛用微细形状测定机产品特点试片尺寸210×210mm~300×400mm重现性1σ 0.5nm以内测定范围Z:100µm X:100mm (Y移动量:150~400mm)分解能Z:0.1nm X:0.1µm测定力
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