纳米级精度激光位移传感器（HPS-LC010）
产品介绍
HPS-LC010是基于激光三角测距原理进行测量的高精度非接触式传感器，具有直射/斜射式兼容结构，既能检测漫反射表面也能检测镜面反射表面，控制器部分加入了人性化触摸屏操作界面，丰富的通讯接口，方式用户使用及后期集成开发。
产品性能
◇ ±0.1μm（RMS）超高重复精度
◇ 高线性度
◇ IP67防尘防水
◇ 内置算法，适用多种反射率物体
应用场景
触摸屏表面高度和气隙测量
图案晶圆的Z轴高精度定位
HDD读取器臂和媒介间的段差测量
玻璃板厚度测量
工件翘曲度和平行度测量
太阳能板的活动层测量
变焦物镜的组装检测
连接器高度检测
电极厚度检测
圆盘转子的振动测量
气刀的位置控制等
技术参数
| 仟渔 | / |
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