封闭式离子源仪器被设计为用于CVD过程（反应性气体存在其他的的过程）和接近或高于大气压力的气体分析。这种离子源的设计的主要益处在于当反应性气体在相对高的压力下引入离子室时，它可以减少在离子源区域发生的分子离子反应。
概述
这是通过在样品气体进入离子室之前首先减少它的压力而实现的。正如流导限制型离子源（详见上文介绍），样品气体被限制在一个相对较小的离子室中，灯丝在离子室的外面。差别在于封闭离子源的气体在进入到离子室之前压力首先从CVD（或其他高压方面的应用）的高压被降低到大约10-5 Torr 。因为在这一较低压力下气体密度就会较小，这样一来当取反应性气体样品时就能大大减少分子离子反应了。这样就保持了样品气体的*原始的特性和排除了引入新的不属于样品气体的气体种类的可能性。
封闭离子源RGA 具备了增强的灵敏度，降低的体系压力背景噪声，PPB水平的检测能力。
封闭离子源的另外的特点包括：
传感器室中背景气体对分析信号的*小程度的污染
离子体积外的灯丝排除本底信号
抽取式的离子体积方便清洗
两根涂钍的铱灯丝
可简便替换的灯丝
从传感器真空室的进口到离子体积连接简单
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