一、气体质量流量传感器AWM40000 系列简介
AWM40000 系列包括不带放大和放大/ 信号处理的信号。AWM42150V 和AWM42300，使用和AWM2000 相同的电路。AWM43300V 和AWM43600V 使用和AWM3000 相同的电路。AWM43600V 为6SLPM 器件。
二、气体质量流量传感器AWM40000 系列主要特点：
1）多个集中安装，O形密封圈
2）陶瓷流量管（无引气管）：0-1000sccm
3）塑料流量管（无引气管）：0-6SLPM
4）高共模压力（150psi）
5）工作温度可至125℃
6）零点和满量程高稳定性
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