名称：大尺寸光罩
材料：Soda Lime Glass、Quartz
规格：1100mm×1100mm~406.4mmx457.2mm
应用：PCB行业、平板显示行业
主要应用领域：
主要应用于LCD、TFT、CF、Touch Panel、OLED、PDP等平板显示行业；HDI、FPC等PCB行业。
Applications：
Mainly used in LCD、TFT、CF、Touch Panel、OLED、PDP and other flat panel display industry；HDI、FPC and other PCB industry.
铬版精度 Chrome Mask Specifications（Standard Size:430mmx430mm）
| 精度 / 级别 Items / Class | 精度 Grade 1 | 高精度 Grade 2 | 中精度 Grade 3 | 一般精度 Grade 4 |
| 最小线宽/线缝 Min.Line/Space Width | 1.0μm/1.0μm | 5μm/5μm | 10μm/10μm | 20μm/20μm |
| 线条精度 CD Control | ±0.15μm （QZ） | ±0.5μm | ±1.0μm | ±2.0μm |
| 总长精度 Total Pitch Accuracy | ±0.5μm（QZ） | ±1.0μm | ±2.0μm | ±2.0μm |
| 图形位置精度 Registration Accuracy | ±0.5μm（QZ） | ±1.0μm | ±2.0μm | ±3.0μm |
| 套合精度 Overlay Accuracy | ±0.5μm（QZ） | ±1.0μm | ±2.0μm | ±3.0μm |
| 垂直精度 Orthogonality | ±0.75μrad | ±2.0μrad | ±3.0μrad | ±4.0μrad |
铬版材料 Substrate(Photomask blank phate)
| 材料 Material | Soda Lime Glass、Quartz |
| 尺寸Max. Size | 1100mm×1100mm |
| 常规尺寸Normal Size | 406.4mmx457.2mm,420mmx520mm,450mmx550mm,580mmx609.6mm, 609.6mmx711.2mm,620mmx720mm,700mmx800mm,800mmx960mm |
| 厚度 Thickness | 2.3±0.2mm,3.0±0.2mm ,4.8±0.2mm ,7.8±0.2mm 5.0±0.2mm (QZ),8.0±0.2mm (QZ) |
| 铬膜 Film Type | Low Reflectance Chrome |
| 光学密度Optical Density（λ=450nm） | Between Plates3.0±0.3 In Plate±0.3 |
| 反射率Reflectivity（λ=436nm） | Between Plates10±5% In Plate±2% |
我司在菲林领域的主要生产经营范围：
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