FMA-A2000气体质量流量计和控制器
可选配一体式显示屏,用于测量洁净气体,精度为±1%
线性模拟输出,成本低,采用热感技术,可测量高达100 SLM的流量
内含电源
FMA-A2000系列电子质量流量计/控制器性能出众、 功能多样、设计、外形紧凑。
FMA-A2000利用毛细管式热感技术直接测量气体的质量流量。无需进行温度、压力或平方根校正。
FMA-A2300/2400系列配备LCD显示屏,并且所有型号都提供线性0 ~ 5 Vdc和 4 ~ 20 mA输出。
FMA-A2000测量0 ~ 100 SLM之间24个量程的气体质 量流量。要查看完整列表,请参阅下一页的量程表。
FMA-A2000系列与大部分非腐蚀性气体相容。建议用户对照气体相容性检查接液材料。
OMEGA的质量流量控制器利用内部电磁比例阀控制质量流量。
可以通过内部电位器设定值或者通过0 ~ 5 Vdc外部源 提供指令信号。
规格:
精度: 满量程的±1%(包括线性度)
重复性: 满量程的±0.15%或者更佳
量程比: 100:1
响应时间: 5秒
气体环境温度: 0 ~ 50°C (32 ~ 122°F)
温度系数: 每1°C为满量程的0.05%或更佳
压力系数: 每psi为满量程的0.01%或更佳
*低压力要求:
流量计: 1英寸水柱
*大流速为1 SLM的控制器: 1 psi
流速大于20 SLM的控制器: 20 psi
质量流量控制器的压差: <5 LPM,5 ~ 50 psi(标准)
>5 LPM,20 ~ 40 psi(标准)
气体*大压力:
聚甲醛: 250 psig
316不锈钢: 500 psig
泄漏完整性: 1 x10-6 cc/min氦气或更佳
接液部件:
标配: 聚甲醛、氟橡胶O形圈
选配: 316不锈钢、氟橡胶O形圈
连接口: ¼ FNPT(标配);
¼"压合接头(适用于所有不锈钢型号流量计)
输入/输出连接口: 9针sub-D连接器
控制信号: 0 ~ 5 Vdc
控制阀: 常闭电磁阀
输出信号: 线性0 ~ 5 Vdc(*小负载1000 Ω),4 ~ 20 mA(环路电阻500 Ω)
安装螺纹:
316不锈钢壳体: 6⁄32"螺纹
聚甲醛材料: #4/6自攻螺丝
输入电源:
流量计: 24 Vdc @ 150 mA、115 Vac和220 Vac(带交流适配器)
控制器: 24 Vdc @ 300 mA、115 Vac和220 Vac(带交流适配器)
外形尺寸: 参见图纸
重量: 1.25 kg (2.75 lb)(含电源)
聚甲醛质量流量计,不带显示屏 | |
FMA-A2100 | 0到10 SCCM |
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FMA-A2101 | 0到20SCCM |
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FMA-A2102 | 0到50SCCM |
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FMA-A2103 | 0到100SCCM |
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FMA-A2104 | 0到200SCCM |
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FMA-A2105 | 0到500SCCM |
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FMA-A2107 | 0到2SLM |
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FMA-A2108 | 0到5SLM |
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FMA-A2109 | 0到10SLM |
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FMA-A2117 | 0到50SLM |
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FMA-A2118 | 0到55的SLM |
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FMA-A2119 | 0到60SLM |
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FMA-A2120 | 0到65SLM |
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FMA-A2121 | 0到70SLM |
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FMA-A2122 | 0到75SLM |
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FMA-A2123 | 0到100SLM |
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聚甲醛质量流量控制器,不带显示屏 | |
FMA-A2200-(**) | 0到10 SCCM |
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FMA-A2201-(**) | 0到20SCCM |
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FMA-A2202-(**) | 0到50SCCM |
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FMA-A2203-(**) | 0到100SCCM |
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FMA-A2204-(**) | 0到200SCCM |
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FMA-A2205-(**) | 0到500的SCCM |
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FMA-A2206-(**) | 0到1SLM |
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FMA-A2207-(**) | 0到2SLM |
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FMA-A2208-(**) | 0到5SLM |
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FMA-A2209-(**) | 0到10SLM |
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FMA-A2210-(**) | 0到15SLM |
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FMA-A2211-(**) | 0到20SLM |
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FMA-A2212-(**) | 0到25SLM |
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FMA-A2213-(**) | 0到30SLM |
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FMA-A2214-(**) | 0到35SLM |
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FMA-A2215-(**) | 0到40SLM |
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FMA-A2216-(**) | 0到45SLM |
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FMA-A2217-(**) | 0到50SLM |
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不锈钢质量流量控制器,不带显示器 | |
FMA-A2200-SS-(**) | 0到10SCCM |
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FMA-A2201-SS-(**) | 0到20SCCM |
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FMA-A2202-SS-(**) | 0到50SCCM |
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FMA-A2203-SS-(**) | 0到100SCCM |
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FMA-A2204-SS-(**) | 0到200SCCM |
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FMA-A2205-SS-(**) | 0到500SCCM |
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FMA-A2206-SS-(**) | 0到1SLM |
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FMA-A2207-SS-(**) | 0到2SLM |
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FMA-A2208-SS-(**) | 0到5SLM |
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FMA-A2209-SS-(**) | 0到10SLM |
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FMA-A2210-SS-(**) | 0到15SLM |
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FMA-A2211-SS-(**) | 0到20SLM |
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FMA-A2212-SS-(**) | 0到25的SLM |
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FMA-A2213-SS-(**) | 0到30SLM |
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FMA-A2214-SS-(**) | 0到35SLM |
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FMA-A2215-SS-(**) | 0到40SLM |
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FMA-A2216-SS-(**) | 0到45的SLM |
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FMA-A2217-SS-(**) | 0到50的SLM |
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聚甲醛质量流量计,带显示屏 | |
FMA-A2300 | 0到10SCCM |
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FMA-A2301 | 0到20SCCM |
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FMA-A2302 | 0到50SCCM |
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FMA-A2303 | 0到100SCCM |
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FMA-A2304 | 0到200SCCM |
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FMA-A2305 | 0到500SCCM |
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FMA-A2306 | 0到1SLM |
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FMA-A2307 | 0到2的SLM |
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FMA-A2308 | 0到5的SLM |
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FMA-A2309 | 0到10SLM |
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FMA-A2317 | 0到50SLM |
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FMA-A2318 | 0到55SLM |
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FMA-A2319 | 0到60SLM |
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FMA-A2320 | 0到65SLM |
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FMA-A2321 | 0到70SLM |
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FMA-A2322 | 0到75SLM |
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FMA-A2323 | 0到100SLM |
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聚甲醛的质量流量控制器,带显示屏 | |
FMA-A2400-(**) | 0到10SCCM |
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FMA-A2401-(**) | 0到20SCCM |
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FMA-A2402-(**) | 0到50SCCM |
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FMA-A2403-(**) | 0到100SCCM |
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FMA-A2404-(**) | 0到200SCCM |
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FMA-A2405-(**) | 0到500SCCM |
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FMA-A2406-(**) | 0到1SLM |
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FMA-A2407-(**) | 0到2SLM |
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FMA-A2408-(**) | 0到5SLM |
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FMA-A2409-(**) | 0到10SLM |
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FMA-A2410-(**) | 0到15SLM |
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FMA-A2411-(**) | 0到20SLM |
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FMA-A2412-(**) | 0到25SLM |
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FMA-A2413-(**) | 0到30SLM |
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FMA-A2414-(**) | 0到35的SLM |
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FMA-A2415-(**) | 0到40SLM |
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FMA-A2416-(**) | 0到45SLM |
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FMA-A2417-(**) | 0到50SLM |
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不锈钢质量流量控制器,带显示屏 | |
FMA-A2400-SS-(**) | 0到10SCCM |
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FMA-A2401-SS-(**) | 0到20SCCM |
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FMA-A2402-SS-(**) | 0到50SCCM |
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FMA-A2403-SS-(**) | 0到100SCCM |
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FMA-A2404-SS-(**) | 0到200SCCM |
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FMA-A2405-SS-(**) | 0到500SCCM |
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FMA-A2406-SS-(**) | 0到1SLM |
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FMA-A2407-SS-(**) | 0到2SLM |
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FMA-A2408-SS-(**) | 0到5SLM |
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FMA-A2409-SS-(**) | 0到10SLM |
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FMA-A2410-SS-(**) | 0到15SLM |
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FMA-A2411-SS-(**) | 0到20SLM |
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FMA-A2412-SS-(**) | 0到25SLM |
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FMA-A2413-SS-(**) | 0到30SLM |
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FMA-A2414-SS-(**) | 0到35SLM |
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FMA-A2415-SS(**) | 0到40SLM |
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FMA-A2416-SS-(**) | 0到45SLM |
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FMA-A2417-SS-(**) | 0到50SLM |
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配件 | |
FMA-200PWA | 备用插座式插接电源(90 ~ 260 Vac) |
注释: 配备操作手册、9针sub-D连接器、电源及NIST校准(无数据点)。
欲购可选316不锈钢壳体仪表,请将后缀"-SS"添加到型号中(需付额外费用)(¼"压合接头为标配)。对于FMA-A22与FMA-A24控制器,不锈钢壳体是标配。
注:所有的控制器流量范围均针对20 psig时的氮气或空气;在用于其它气体时,需要使用相关系数确定流量。
** 气体、入口/出口压力和温度。
要获得5测量点NIST校准证书,请将后缀"-NIST5"添加到型号中(无额外费用)。
要获得10测量点NIST校准证书,请将后缀"-NIST10"添加到型号(需付额外费用)。
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选项描述 | |
(1) | 型号代码 |
| 选择 |
(2) | 量程代码 |
| 选择 |
(3) | 可选316不锈钢阀体 |
| 选择 |
(4) | 型号代码 |
| 选择 |
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