S48 300/HMT联动控制高精度数字式气体质量流量控制器
1.数字式气体质量流量控制器
2.高精度
3.zui多可实现16台联动控制
S48 300/HMT联动控制高精度数字式气体质量流量控制器特点：
- 高精度
- 良好的线性
- 快速的响应
- 对零点漂移有效的抑制
- 电磁阀使用寿命≥100万次
- 化的零配件供应——传感器、分流器、精密电阻等关键部件日本进口
- 通讯接口优势
- 多台控制器可以同时运行
技术参数：
| 编号 | 项目 | S48 300/HMT |
| 1 | 流量规格 | (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min； （1,2,3,,5,10，20,30,50）L/min |
| 2 | 调节阀类型 | 电磁调节阀 |
| 3 | 调节阀静止状态 | 常闭 |
| 4 | 安装角度 | 任意 |
| 5 | 流量控制范围 | 2%～99% |
| 6 | 准确度 | ±1.0% S.P.(≥30% F.S.) ±0.30% F.S.(<30% F.S.) |
| 7 | 线性 | ±0.5% F.S. |
| 8 | 重复精度 | ±0.2% F.S. |
| 9 | 响应时间 | ≤1s |
| 10 | 工作压差范围 | （0.05～0.3）MPa(<10L/min): （0.1～0.3）MPa(10～50)L/min； (0.15～0.3)MPa 50L/min |
| 11 | 耐压 | ±3MPa |
| 12 | 工作环境温度 | 55℃～50℃ |
| 13 | 精度保证温度 | 15℃～35℃ |
| 14 | 接触气体材料 | 316L,PTFE,Viton或其他 |
| 15 | 漏率 | <1×10-8 Pa•m3/s |
| 16 | 接头 | Swagelok:Φ6mm,1/4″ VCR:1/4″或其他 |
| 17 | 输入信号 | 数字：RS232/RS485 模拟：（0～+5.00）V，输入阻抗>100KΩ VCR:1/4″3/8″ |
| 18 | 输出信号 | 数字：RS232/RS485 模拟：（0～+5.00）V，负载能力≤3mA |
| 19 | 通讯接口 | 数字：RS232/RS485 波特率：4800/9600/19200Bps 协议丛机 设备号可选范围：0～15 |
| 20 | 供电电源 | ±15V（±5%） （+15V，150mA；-15V,200mA) |
| 21 | 重量 | 0.9 |
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