OBISHI大菱超精密石材直线参考装置EF-1001
OBISHI大菱超精密石材直线参考装置EF-1001
超精密石材直线参考装置
可以用作各种机床，半导体相关设备，检查设备等各轴直线度检查的母版。
组装和调整每个轴时，可以将其用作直线参考。
可以用作机器零件的检查主机。
所使用的表面为精密包装表面。
只有一个精度面。
精密表面是指距两端不包括20 mm的尺寸。
由石头制成，不易受温度变化的影响。
| 代码编号 | 呼叫 | 尺寸（长x高x宽mm） | 直线度（μm） | 质量（公斤） |
|---|---|---|---|---|
| EF-1001 | 500 | 540 x 100 x 50 | 1.0 | 9.3 |
| EF-1002 | 750 | 790 x 100 x 50 | 1.0 | 13.5 |
| EF-1003 | 1000 | 1040 x 125 x 60 | 1.0 | 27.0 |
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