ROC紫外线照度计VORCUV-M03A产品介绍
它是一种小巧轻便的便携式设备,可以轻松管理曝光设备的照度和光强度。
可以容易地测量UV照度和光强度。对于光接收器,根据光源和使用的抗蚀剂(计划使用)的灵敏度,为UV-25,35,42选择一个。然而,UV-SN25,UV-SN35,UV-SN42用于电子电路(印刷)基板的生产过程,UV-SD25,UV用于半导体和液晶基板的生产过程 - 建议选择SD35和UV-SD42
测量数据可通过RS-232C通信输出传输。它还具有模拟输出。关于SD类型和SN类型型已被长期使用我们的曝光和照射设备等的客户广泛采用,以确程管理的连续性。SD型是已经使用其他公司的发光计的客户重视确保与半导体和液晶基板制造工艺领域的这些测量仪器的数据兼容性(我公司生产的曝光设备)但是,投影型曝光系统和液晶基板的周边曝光系统采用SD型,建议使用新型照度计等的客户使用。
关于SD类型和SN类型的指示值:为了确保旧过程数据的兼容性,SN类型表示SD类型的指示值(我们的测量组用作校准辐射源的高压UV灯的发射线在相同的测量条件下测量 调整显示比显示时显示的照度值高39%:mW / cm 2显示。
关于与第三方测光表的数据兼容性:与可见光发光计(测量LUX单元中家庭,办公室,商店,博物馆等的亮度的照度计)不同,适用于所有紫外线发光计的标准尚未准备好(似乎在JIS上的工作是在非常有限的应用中进行的)。的公司的相对光谱灵敏度,对于由光源主要由365nm的发射线,开始与测量的峰值波长处测量的照度的目的进行(波长相对光谱灵敏度特性是由1表示),短波长侧(约300nm至310nm)和长波长侧(约380nm至400nm)的上升,下降波长和其前后的曲线略有不同。另外,尽管接收器的光接收角特性(称为COSθ特性)也在设计上努力使其更接近理想曲线,但实际上还没有实现。
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